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The physics of submicron lithography / Kamil A 'Akhmetovich Valiev

Public ISBD Titre : The physics of submicron lithography Type de document : texte imprimé Auteurs : Kamil A 'Akhmetovich Valiev, Auteur Editeur : New York : Plenum press Année de publication : cop. 1992 Collection : Microdevices Importance : XI-493 p. Présentation : ill. Format : 26 cm ISBN/ISSN/EAN : 978-0-306-43578-2 Note générale : Bibliogr. en fin de chap. Index Langues : Anglais Mots-clés :   Lithographie par faisceau d'électrons  Lithographie par rayons X  Lithographie par faisceau d'ions Index. décimale : 621.3 Electrotechnique, électronique, télécommunications The physics of submicron lithography [texte imprimé] / Kamil A 'Akhmetovich Valiev, Auteur . - New York : Plenum press, cop. 1992 . - XI-493 p. : ill. ; 26 cm. - (Microdevices) . ISBN : 978-0-306-43578-2 Bibliogr. en fin de chap. Index Langues : Anglais Mots-clés :   Lithographie par faisceau d'électrons  Lithographie par rayons X  Lithographie par faisceau d'ions Index. décimale : 621.3 Electrotechnique, électronique, télécommunications

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PM002	PM002	Livre	Bibliothèque IPHT-SPEC	Physique	IPHT-SPEC	Disponible Disponible