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Metal impurities in silicon-device fabrication / Klaus Graff

Public ISBD Titre : Metal impurities in silicon-device fabrication Type de document : texte imprimé Auteurs : Klaus Graff (1931-....), Auteur Editeur : Berlin : Springer-Verlag Année de publication : cop. 1995 Collection : Springer series in materials science num. 24 Importance : IX-216 p. Présentation : ill. Format : 25 cm ISBN/ISSN/EAN : 978-3-540-58317-2 Note générale : Bibliogr. p. 201-214. Index Langues : Anglais Mots-clés :   Semiconducteurs  Défauts  Silicium  Inclusions  Silicium  Défauts Index. décimale : 621.3 Electrotechnique, électronique, télécommunications Metal impurities in silicon-device fabrication [texte imprimé] / Klaus Graff (1931-....), Auteur . - Berlin : Springer-Verlag, cop. 1995 . - IX-216 p. : ill. ; 25 cm. - (Springer series in materials science; 24) . ISBN : 978-3-540-58317-2 Bibliogr. p. 201-214. Index Langues : Anglais Mots-clés :   Semiconducteurs  Défauts  Silicium  Inclusions  Silicium  Défauts Index. décimale : 621.3 Electrotechnique, électronique, télécommunications

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Code-barres	Cote	Support	Localisation	Section	Propriétaire	Disponibilité
PC039	PC039	Livre	Bibliothèque IPHT-SPEC	Physique	IPHT-SPEC	Disponible Disponible