Titre :	Metal impurities in silicon-device fabrication
Type de document :	texte imprimé
Auteurs :	Klaus Graff (1931-....), Auteur
Editeur :	Berlin : Springer-Verlag
Année de publication :	cop. 1995
Collection :	Springer series in materials science num. 24
Importance :	IX-216 p.
Présentation :	ill.
Format :	25 cm
ISBN/ISSN/EAN :	978-3-540-58317-2
Note générale :	Bibliogr. p. 201-214. Index
Langues :	Anglais
Mots-clés :	Semiconducteurs  Défauts  Silicium  Inclusions  Silicium  Défauts
Index. décimale :	621.3 Electrotechnique, électronique, télécommunications

Metal impurities in silicon-device fabrication [texte imprimé] / Klaus Graff (1931-....), Auteur . - Berlin : Springer-Verlag, cop. 1995 . - IX-216 p. : ill. ; 25 cm. - (Springer series in materials science; 24) .
ISBN : 978-3-540-58317-2
Bibliogr. p. 201-214. Index
Langues : Anglais

Mots-clés :	Semiconducteurs  Défauts  Silicium  Inclusions  Silicium  Défauts
Index. décimale :	621.3 Electrotechnique, électronique, télécommunications